產品專區
ケミカル・フィルタ
球状活性炭又はイオン交換ビーズの三次元フィラメント構造により、低圧力損失でガスを高効率に除去、LSIのさらなる超微細加工にふさわしいクリーン化を実現します。
內容
ケミカル・フィルタによる分子汚染されているクリーンルームの改善
長期性能確認試験データ紹介
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FFU構造 | ![]() |
長期確認試験データ紹介 クリーンルーム内におけるホウ素濃度の推移 ![]() |
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長期確認試験データ紹介 クリーンルーム内における総リン濃度の推移 ![]() |
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長期確認試験データ紹介 クリーンルーム内におけるアンモニア濃度濃度の推移 ![]() |
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長期確認試験データ紹介 クリーンルーム内における総有機ガス濃度の推移 ![]() |
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長期確認試験データ紹介 クリーンルーム内におけるシロキサン、フタル酸エステルの定量結果 |
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ギガソーブの有機物吸着量(設置後3年)![]() |
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有機物に対するギガソーブの性能と寿命について | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
クリーンルームは、比較的低沸点有機物が多く、これらの成分に対する除去性能や寿命は良くない結果となっている。(リテンション・タイム10分以下の成分はギガソーブにほとんど吸着されない。) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
しかしながら、リテンション・タイムが20分以降の高沸点有機物では、ギガソーブの一層目または二層目までのマットにほぼ100%吸着されている。(三層目以降に成分が検出されていない。) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
アンモニア・ボロンに対するギガソーブの性能と寿命について (低濃度ガスに対する除去性能) |
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設置後三年で、上流側のアンモニア濃度が0.73μg/m3のとき、ギガソーブの下流側では0.09μg/m3と、90%近い除去効率を維持している。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
設置後三年で、上流側のボロン濃度0.054μg/m3のとき、ギガソーブの下流側では0.009μg/m3と、80%以上の除去効率を維持している。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
クリーンルームでのウエハ暴露試験(参考資料) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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■GIGASORB :Data sheet