產品專區
PTFE＆低ボロン＆低有機物エアーフィルタ
LB / LO/ LL HEPA / ULPA LB / LO/ LL ULPA ローボロン / 低有機物ろ紙を使用したエアフィルタです。 PTFE PTFEは超微細な繊維の集合体で低圧損・高捕集効率が得られ、フッ素樹脂の特長であるクリーン性、耐薬品性を持ってます。
內容
- LB:低ボロン
- LO:低有機物
- LL:低ボロン・低有機物
- PTFE:ボロンフリー
半導体TechnologyのROAD MAPではデザインルールが0.13um以下になると分子汚染対策が必要になります。
TNFはハイテクの技術革新に備えて低ボロンと低有機物エアーフィルタを製造し日本市場において多く顧客に、これらの製品を供給してきました。
TNFの低ボロン、低有機物エアーフィルタ製品は、日本ニッタの分子汚染評価技術によって、その性能を証明しています。
次世代のクリーンルームでは、分子汚染を制御するために低ボロン、低有機物エアーフィルタの対策を怠ると分子汚染を制御する事は出来ません。
分子汚染対策でng/ｍ3以下の超清浄環境を要求される場合は、ケミカルフィルタと低ボロン、低有機物エアーフィルタ ULPA の組み合わせが最適な選択です。
1.フィルタ型式
パネル型 低ボロン．低有機物HEPA Filter
| 型式 | 奥行(mm) | 面風速(m/s) | 初期圧損(Pa) | 效率(0.3um) | 安全規格UL900 |
|---|---|---|---|---|---|
| LB3502 | 52 | 0.5 / 0.85 | 120 / 210 | 99.99% / 99.97% | --- |
| LB3402 | 68 | 0.5 / 0.85 | 95 / 165 | 99.99% / 99.97% | --- |
| LB3802 | 86 | 0.5 / 0.85 | 80 / 140 | 99.99% / 99.97% | --- |
| LL3502 | 52 | 0.5 | 125 | 99.97% | --- |
| LL3402 | 68 | 0.5 | 125 / 100 | 99.99% | --- |
| LO3501 | 52 | 0.5 / 0.85 | 140 / 250 | 99.99% | --- |
| LO3401 | 68 | 0.5 / 0.85 | 110 / 200 | 99.99% | --- |
| LO3801 | 86 | 0.5 / 0.85 | 90 / 160 | 99.99% | --- |
| LL3501 | 52 | 0.5 / 0.85 | 140 / 250 | 99.99% | --- |
| LL3401 | 68 | 0.5 / 0.85 | 110 / 200 | 99.99% | --- |
| LL3801 | 86 | 0.5 / 0.85 | 90 / 160 | 99.99% | --- |
* UL900規格オプション。
パネル型 低ボロン．低有機物ULPA Filter
| 型式 | 奥行(mm) | 面風速(m/s) | 初期圧損(Pa) | 效率(0.1~0.2um) | 安全規格UL900 |
|---|---|---|---|---|---|
| LB3542 | 52 | 0.5 | 170 | 99.999% | --- |
| LB3442 | 68 | 0.5 | 135 | 99.999% | --- |
| LB3842 | 86 | 0.5 / 0.85 | 110 / 190 | 99.999% | --- |
| LO3541 | 52 | 0.5 | 200 | 99.999% | V |
| LO3441 | 68 | 0.5 / 0.85 | 145 / 250 | 99.9995% / 99.999% | V |
| LO3841 | 86 | 0.5 / 0.85 | 125 / 215 | 99.9995% / 99.999% | V |
| LL3541 | 52 | 0.5 | 200 | 99.999% | V |
| LL3441 | 68 | 0.5 / 0.85 | 145 / 250 | 99.9995% / 99.999% | V |
| LL3841 | 86 | 0.5 / 0.85 | 125 / 215 | 99.9995% / 99.999% | V |
* UL900規格オプション。
セル型 ボロンフリーPTFE HEPA Filter
| 型式 | 寸法(mm) | 風量(CMM) | 初期圧損(Pa) | 效率(0.3um) | 安全規格UL900 |
|---|---|---|---|---|---|
| U150X-12 | 595x595x292 | 43.8 | 190 | 99.995% | --- |
| U150X-06 | 290x595x292 | 18.5 | 190 | 99.995% | --- |
パネル型 ボロンフリーPTFE HEPA Filter
| 型式 | 奥行(mm) | 面風速(m/s) | 初期圧損(Pa) | 效率(0.3um) | 安全規格UL900 |
|---|---|---|---|---|---|
| TNNE30H | 52 | 0.5 | 98 | 99.999% | V |
| TNNE35H | 52 | 0.5 | 85 | 99.999% | V |
パネル型 ボロンフリーPTFE ULPA Filter
| 型式 | 奥行(mm) | 面風速(m/s) | 初期圧損(Pa) | 效率(0.1~0.2um) | 安全規格UL900 |
|---|---|---|---|---|---|
| TNNA35U6 | 52 | 0.5 | 116 | 99.99995% | V |
| TNNA40U6 | 52 | 0.5 | 102 | 99.99995% | V |
| TNNA50U6 | 86 | 0.5 | 82 | 99.99995% | V |
2.ボロン エミッション テスト結果
3.プロジェクト
エアフィルタからガスの低減
原材料からガスの低減
評価：ウエハーにて有機物付着の測定
目標値：＜1ng/cm2
（お客先の要求による）
4.原材料のアウトガス試験
試験設備と材料
設備
ＴＣＴ
（サーマル、デソプション コルード トラップ インジェクト）
型式：CP-4020GL-Science
オートサンプラー
型式：TMD-253H GL-Science
GC-MS(ガスクロマト質量分析計）
条件
ＴＣＴ
デソープション温度：80～150℃
インジェクション温度：250℃
コルード トラップ温度：-130℃
GC-MS(ガスクロマト質量分析計）
カラム TC-１ 0.25um、60mx0.25mm
温度：40℃、5min-10℃/min、280℃、21min
トルエン相当
5.アウトガス試験結果
6.ウエハーの試験によって、エアフィルタの評価
（ウエハーにて有機物の付着物）
試験設備と材料
８インチ シリコンウエハー
設備
ウエハー熱デソプション-GC-Mass
ガスクロマト質量分析計
（WTD-GC-MS）
Heガス温度：400℃にて
7.ウエハー試験の結果
