化學過濾網
藉由串珠狀活性碳之三次元纖維構造,可以減低壓力損失並高效率去除氣體,得以更進一步實現LSI之超微細加工所需要的清淨化。
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中性能空氣過濾網
採用小型摺紙片配置成V字型構造之中性能空氣過濾網,跟原有隔板式過濾網同樣尺寸相比較,其濾材面積約增加2倍,且容量大,壽命長之過濾網。
超高效率空氣過濾網
SPleats為Panel型構造的薄型、輕量及高捕集效率之空氣過濾網 。因使用玻璃纖維線使構造壓力損失減少,及優越的風速分佈之過濾網 。
無硼、低硼、低有機物空氣過濾網
LB/LO/LL HEPA/ULPA LB/LO/LL ULPA 使用低硼/低有機物玻璃纖維紙之空氣過濾網。 PTFE 使用超細微之纖維所結合而成,低壓損、高捕集效率,其特徵為氟樹脂之潔淨性及耐藥品性。
高效率空氣過濾網
SPleatsTM為Panel型/Cell型構造的薄型、輕量及高捕集效率之空氣過濾網 。因使用玻璃纖維線使構造壓力損失減少,及優越的風速分佈之過濾網 。